序號

項目

單位

規格值

1

氫氟酸Assay

HF

wt％

≥99.999

2

氯化物Chloride

Cl

ppb

≤100

3

硝酸鹽Nitrate

NO3

ppb

≤100

4

磷酸鹽Phosphate

PO4

ppb

≤100

5

硫酸鹽Sulfate

SO4

ppb

≤100

6

硅Silicon

Si

ppb

≤100

7

鐵Iron

Fe

ppb

≤50

8

鎳Nickel

Ni

ppb

≤50

9

鉻Chromium

Cr

ppb

≤50

10

銅Copper

Cu

ppb

≤50

11

鈉Sodium

Na

ppb

≤50

12

鈣Calcium

Ca

ppb

≤50