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電子級六氟化硫

分子式：SF₆
分子量：146.05

項        目	國  標 GB/T18867-2014
六氟化硫(SF6)含量（體積分數）/10-2         ≥	99.999
（氧+氬）（O2+Ar）含量（體積分數）/10-6        ≤	2.0
氮（N2）含量（體積分數）/10-6            ≤	2.0
四氟化碳(CF4)含量（體積分數）/10-6         ≤	1.0
一氧化碳（CO）含量（體積分數）/10-6         ≤	0.5
二氧化碳（CO2）含量（體積分數）/10-6         ≤	0.5
甲烷(CH4) 含量（體積分數）/10-6         ≤	0.5
水分(H2O)的（體積分數）/10-6               ≤	3.0
酸度（以HF計）的質量分數/10-6         ≤	0.1
可水解氟化物（以HF計）的質量分數/10-6   ≤	0.8
雜質綜合的體積分數/10-6                ≤	10
顆粒	由供需雙方商定

性狀：
常溫常壓下為液態，它是一種無色、無臭、無毒、無腐蝕性的氣體。熔點-50℃，升華點或沸點為-63.8℃，氣體密度6.16g/L(20℃，0.1MPa)，在熔點時密度為2.51g/cm3，具有高的絕緣性和滅弧能力。
用途：
六氟化硫﹙SF6﹚是一優良的惰性絕緣氣體，電子工業用六氟化硫氣體大量用于在電子器件表面清洗、在TFT行業中應用量大。
貯存：
應存放于陰涼干燥、通風良好的地方。
運輸：
長途運輸時應附有GB19-73《危險貨物包裝標志》中指定標志。氣瓶充裝系數不大于1.33kg/L。
包裝：
SF6應充裝在潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可以根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其他容器。（一般情況下，使用氣瓶公稱壓力為15Mpa時，充裝系數＜1.37ka/L。﹚

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