質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):
分子式：CF₄                                   分子量：88     

性狀：
四氟化碳為永久氣體，在常溫常壓下為無色無臭的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩(wěn)定的無毒物質(zhì)。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用於電子器件表面清洗，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
貯存：
陰涼通風(fēng)、遠離熱源、倉溫不宜超過30℃，空瓶、滿瓶應(yīng)分開存放。
運輸：
四氟化碳的運輸應(yīng)符合《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的相關(guān)規(guī)定。
包裝:
應(yīng)充裝在經(jīng)特殊處理的潔淨(jìng)、乾燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據(jù)用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。